Installation geht nicht

Ich habe nachdem ich nicht mehr in min WP rein kam alles gelöscht und neu hoch geladen in einen Unterordner und DB gelöscht. Jetzt funktioniert nicht mal mehr die Installation.

Es kommt dies:
[h=1]Internal Server Error[/h] The server encountered an internal error or misconfiguration and was unable to complete your request.
Please contact the server administrator, [no address given] and inform them of the time the error occurred, and anything you might have done that may have caused the error.
More information about this error may be available in the server error log.

Im Error Log steht. Was heißt das?
[Mon Aug 06 23:30:54 2012] [error] [client ....] Cannot load the ionCube PHP Loader - it was built with configuration API220090626,NTS, whereas running engine is API220100525,NTS
[Mon Aug 06 23:30:54 2012] [error] [client ....] malformed header from script. Bad header=<br />: install.php

Ich finde keine Lösung. Der Provider sagt immer nur, dass er für Probleme mit Wordpress nicht verantwortlich ist. Aber ich hatte dort jahrelang WP ohne Problme laufen und jetzt geht gar nix mehr.

:-(

Ne ich habs 100mal schon hochgeladen! Daran liegst nicht. Lustigerweise kommt nun etwas neues im ERROR LOG:
[Tue Aug 07 11:56:35 2012] [error] [client ..] Zend Guard Loader requires Zend Engine API version 220090626.
[Tue Aug 07 11:56:35 2012] [error] [client ...] The Zend Engine API version 220100525 which is installed, is newer.
[Tue Aug 07 11:56:35 2012] [error] [client ....] Contact Zend Technologies at http://www.zend.com/ for a later version of Zend Guard Loader.
[Tue Aug 07 11:56:35 2012] [error] [client .....]
[Tue Aug 07 11:56:35 2012] [error] [client ....] malformed header from script. Bad header=<br />: install.php

Ok, Problem gelöst. Mein Provider hat gesagt es lag an PHP 5.4.5 und sie haben den Fehler nun behoben.